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一种基于CCD的实时测量光栅常数的方法

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摘要

光栅常数是检验光栅质量的重要参数之一.该文介绍了一种实时检测光栅参数的方法,即利用面阵CCD采集光栅衍射图像信息,通过计算衍射±1级光斑与主极大光斑的能量比得出光栅常数.这种方法具有检测速度快、系统简单、精度高等特点,可用于生产线上光栅的实时检测.

著录项

来源
《应用光学》 |2005年第1期|53-55|共3页
作者
付赛; 陈海清;
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作者单位

华中科技大学;

光电系;

湖北;

武汉;

430074;

华中科技大学;

光电系;

湖北;

武汉;

430074;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类电荷耦合器件;
关键词
光栅常数; 面阵CCD; 实时检测;

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