利用准谐频叉指换能器实现GHz高频SAW滤波器

摘要

本文利用准谐频设计方法，在常规光刻工艺水平上，成功地实现了ＧＨｚ级声表面波（ＳＡＷ）器件。准谐频叉指换能器（ＱＨＩＤＴ）的优点为：其指条宽与指间隙可以比一般的单指换能器宽，克服了单指换能器内指间的多次反射，并且又较好地解决了普通谐频叉指换能器基频抑制不好的缺点。本文给出了制作在ＳＴ石英基片上，工作频率１１２８ＭＨｚ的声表面波滤波器的实验结果。