罩式退火炉黑斑缺陷分析及防范措施

摘要

针对罩式炉产生批量黑斑缺陷，本文对产生黑斑的机理进行了详细的分析，并提出了改进的措施。同时对采取措施前后黑斑缺陷率进行了对比，验证了措施的有效性。