利用长期稳定的Ga2O3薄膜在高温下传感还原气体

摘要

多晶半导体Ｇａ２Ｏ３薄膜代表着一种有前途的新型的传感器基础材料，工作温度高于６５０℃，常用于探测还原气体。传感器的信号是由Ｇａ２Ｏ３薄膜电导率的变化来提供。本文报导了在惰性气体中存在两种组分的还原气体混合物时的基本研究情况。针对Ｈ２和ＣＯ来说，在一定的传感器温度下，长期稳定的Ｇａ２Ｏ３薄膜的电导率与还原气体的分压关系是遵守Ｇ－Ｐｒ．ｇ．＾１／３的规律的。