非接触三点内径测量法中角度安装误差的校准方法研究

摘要

由于操作简便,非接触三点内径测量法常用于工业现场测量。为提高工件内径测量精度,对在安装中无法避免的位移传感器角度安装误差进行分析建模,提出了一个新的考虑角度安装误差的非接触内径测量模型及一种基于多观测位置联立方程的误差校准方法。通过仿真分析了模型中观测位置数、工件内径尺寸与其他参数的设置对校准结果的影响,确认了在观测位置数大于4时即可实现对误差的校准。最终,使用激光位移传感器构建内径测量系统并开展实验,验证了角度安装误差校准方法的有效性,圆工件的内径测量的绝对精度与重复性精度分别在0.6μm与0.4μm以下。