高危制程气体输送系统安装调试技术探讨

摘要

本文主要对高危制程气体输送系统安装调试进行探讨,提出了气瓶固定支架,管道与支架间隔离处理,规范焊接充氲保护,KF真空卡钳式法兰连接等安装调试施工方法,保证半导体制程气体输送系统高洁净度、高密闭性等要求.