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带集成紫外滤光片的背照式CCD器件

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@@ 美国喷气推进实验室的研究人员目前正在研制一种带δ掺杂和集成光学滤光片的减薄型硅CCD器件,这种CCD器件为背照式器件,它将被用作在紫外波长范围内工作的成像探测器.

著录项

来源
《红外》 |2002年第10期|42|共1页
作者
高国龙;
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作者单位

无;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类电荷耦合器件;
关键词
背照式CCD器件; 电荷耦合器件; δ掺杂; 集成紫外滤光片;

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