梳状栅两相CCD图像传感器

摘要

本文分析了梳状栅 CCD 的工作原理,给出了计算机分析结果,报导了在高电阻率衬底上制作的 n 沟道 CCD 图象传感器。梳状栅 CCD 所使用的窄栅为3μm,栅间隙处注入了1×10^(13)/cm^2的硼离子。无胖零条件下,电注入测试获得的转移效率η≥99.9%。