基于新型压电驱动器的激光扫描器

摘要

在激光雷达等领域,通常希望激光光束实现低转动惯量高频率匀速扫描,而目前光束扫描器（如检流计式振镜、多面转镜等）很难达到这种要求,为此设计了一种基于新型压电驱动器的激光扫描器。激光扫描器基于一对新型的位移放大压电驱动器,有限元分析结果表明这种压电驱动器具有比传统杠杆式位移放大压电驱动器更好的高频特性。采用软件补偿和串联硬件陷波器相结合的开环控制方法,补偿压电陶瓷迟滞效应影响和抑制机械谐振,提高了扫描线性度,实现了高频三角波扫描。该扫描器还具有转动惯量低、体积小,结构简单、功耗低等优点。