超大直径盘圆罩式退火炉的设计与应用

摘要

阐述了盘圆罩式退火炉的热处理工艺过程,介绍了该热处理炉的设备组成、技术特点以及自主研发关键设备的使用效果。实践证明,该热处理炉能够满足盘圆退火的工艺要求,产品质量满足要求。