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富士控制系统在半导体设备中的应用

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以半导体封装设备中的芯片自动分选机为实例,介绍了富士PLC、触摸屏、伺服电机和E-SX总线的应用.该系统通过E-SX总线将人机界面、控制器和执行器件连接,配线简单、维护方便、高速可靠.

著录项

来源
《工业控制计算机》 |2012年第8期|50-51|共2页
作者
林海涛; 钟亮;
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作者单位

上海微松工业自动化有限公司;

上海201114;

上海微松工业自动化有限公司;

上海201114;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
富士电机; E-SX总线; PLC; 芯片分选;

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