复合衰荡光腔技术精确检测COIL腔镜高反射率

摘要

采用直型和折叠型衰荡光腔相结合技术精确检测ＣＯＩＬ（氧碘化学激光器）平面高反腔镜在１．３１５μｍ实际反射率为９９．９３１％，测量精度１０＾－５。该技术对镜片的反射镜角度、基底材料透光性能及尺寸无特殊要求，可由反射率相对较低的腔镜测量高反射率镜片。