用表面热透镜技术测量1315nm高反射硅镜弱吸收的研究

摘要

运用表面热透镜技术精确测量了1315nm高反射硅镜的弱吸收，判断引起吸收的原因，从而为工艺上减少吸收降低损耗提供了保证。