干涉测量系统中杂散条纹影响的抑制

摘要

为了抑制杂散条纹的影响,提出了一种简单实用的单幅三表面干涉条纹傅里叶分析法,它根据三表面干涉时各个表面干涉的条纹调制度不同,从三表面干涉图的频谱中提取测试面的频谱,从而准确地恢复测试面的面形.模拟结果证明了该方法的有效性,准确度可以达到λ/1 000.实验表明:单幅三表面干涉条纹傅里叶分析法得到的面形形状与波长调谐时域傅里叶变化法和涂消光漆法得到的结果基本一致,PV值和RMS值与波长调谐时域傅里叶变化法相差分别为0.001λ和0.004λ,与涂消光漆法相差分别为0.042λ和0.019λ.通过7次单幅三表面干涉条纹傅里叶分析法测量,得到PV和RMS值的重复性分别为0.007 8λ和0.002 6λ.