首页> 中文期刊> 《强激光与粒子束》 >惯性约束聚变靶中硅支撑冷却臂的制备

惯性约束聚变靶中硅支撑冷却臂的制备

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

论述了基于反应离子深刻蚀技术加工惯性约束聚变(ICF)靶的硅支撑冷却臂.利用扫描电子显微镜、白光干涉仪和视觉显微系统等对所制备的硅支撑冷却臂的形貌、侧壁陡直度和卡爪径向形变量等参数进行了表征分析.分析结果表明,硅支撑冷却臂的侧壁陡直度大于88°,卡爪径向形变量大于20 μm,符合靶的设计要求.

著录项

来源
《强激光与粒子束》 |2013年第12期|3251-3254|共4页
作者
张继成; 罗跃川; 马志波; 杨苗; 周民杰; 李佳; 吴卫东; 唐永建;
展开▼
作者单位

中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900;

中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900;

西北工业大学微/纳米系统实验室,西安710072;

西北工业大学微/纳米系统实验室,西安710072;

中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900;

中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900;

中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900;

中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类人造石及其他胶凝材料;
关键词
惯性约束聚变靶; 硅支撑冷却臂; 反应离子深刻蚀;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 激光惯性约束聚变靶靶丸制备与表征 [J] . 李波 ,张占文 ,何智兵 . 强激光与粒子束 . 2015,第003期
2. 激光惯性约束聚变靶制备技术研究进展 [J] . 高莎莎 ,吴小军 ,何智兵 . 强激光与粒子束 . 2020,第003期
3. 化学气相沉积-氧化烧结法制备惯性约束聚变靶用空心玻璃微球 [J] . 徐伟 ,王涛 ,何智兵 . 强激光与粒子束 . 2015,第006期
4. 惯性约束聚变靶用空心玻璃微球的干凝胶法制备技术 [J] . 漆小波 ,张占文 ,李波 . 化工学报 . 2013,第010期
5. 惯性约束聚变低温冷冻氘氚靶制备技术 [J] . 彭述明 ,夏立东 ,龙兴贵 . 原子能科学技术 . 2009,第008期
6. 惯性约束聚变靶及X光激光靶中所用Formvar膜制备工艺研究 [C] . 陈志梅 . 第六届全国核靶技术交流会 . 1998
7. 微加工工艺在惯性约束聚变分解实验用靶制备中的应用研究 [A] . 孙骐 . 2005

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号