微机械加工技术及其在传感器中的应用

摘要

作为在集成电路技术基础上发展起来的新兴技术,微机械加工技术因其涉及到十分广泛的领域和在使用中体现出来的重要性,受到了社会的普遍关注和重视,包括我国在内的很多国家都对该技术上投入了较多的资金和热情。基于此,本文对微机械加工技术及其在传感器中的应用问题进行了研究,希望通过本文的工作为这一技术的应用提供一定的可供借鉴的信息。