窄间隙SF6放电过程粒子动力学行为

摘要

为了能够从微观上深入研究SF6气体的放电机理,采用粒子连续性方程耦合泊松方程构建SF6气体放电流体模型,其中粒子连续性方程由电子、正离子和负离子连续性方程构成,用有限元法对该模型进行耦合求解.模拟过程考虑了带电粒子及中性气体分子间的电离、吸附、复合以及扩散等过程.仿真结果表明,SF6气体放电过程包含三个阶段:电子崩阶段、电子崩转化为流注阶段、流注放电阶段.