基于激光位移传感器的倾角误差分析

摘要

近年来,伴随着光学、 计算机科学等技术的不断进步以及新材料的接连涌现,以激光三角法测量为代表的非接触式测量被广泛应用于自由曲面的检验.而被测物面倾斜是影响传感器测量精度的一个主要原因,因此对它的研究就显得尤为重要.从激光三角法的测量原理出发,分析了倾角误差产生的原因,详细分析了线阵CMOS上汇聚光斑光能质心与物面倾角之间的关系,最终推导出了物面倾斜角和测量误差关系的数学模型.实验表明,该数学模型提高了被测面的测量精度,具有一定的指导意义.