真空炉温度均匀性测试

摘要

温度均匀性测试需通过校准合格的测量系统,采用适当的方式对热处理炉有效加热区的温度变化进行一系列测量.真空炉的温度测试必须兼顾真空和温度这两个重要指标.本文主要介绍真空炉的温度均匀性测试技术.