高纯液氯的纯化技术

摘要

随着微电子、新型半导体材料和大规模集成电路技术的快速发展,对高纯液氯的质量要求不断提高,要求其具有更低的杂质含量,因此高纯液氯的纯化技术受到广泛关注。本文介绍了高纯液氯的基本性质和应用领域,概述了国内外高纯液氯的研制、纯化以及去除其中特定杂质的方法。展望了高纯液氯纯化技术的发展,高纯氯气作为重要的电子气体将发挥重要的作用,对该产品进行产业化生产十分必要。