使用在线检测仪检测超薄电子玻璃的产品质量

摘要

超薄电子玻璃是指厚度在0．1～1．1mm范围内的电子玻璃，是可应用于电子、微电子、光电子领域的一类高技术产品，主要用于制作集成电路以及具有光电、热电、声光、磁光等功能元器件的玻璃材料。基板玻璃是目前在微电子、光电子和新能源等高新技术中应用最广、发展最快的特种玻璃之一。