激光丝杠测量仪的激光信号监测

摘要

HJY012型五米丝杠激光动态测量仪以He-Ne激光的光波波长作长度测量基准,以圆光栅作角度测量基准。准直激光束经分光镜后分成光强为I_1、I_2的两束,分别经参考锥体棱镜和测量锥体棱镜,最后在接收光电管上得到干涉条纹。HJY012型激光五米丝杠动态测量仪专用处理机在将激光信号处理时采用的是迭代法,其处理方法要点是:将λ/8视为与0.1μm等值的单位脉冲,这样脉冲数在数值上将等于测量架的以0.1μm为单位的线位移量。由于实际上两值并不相等,稳频He-Ne激光器的光波波长在标准状态下λ=0.63281917μm因而将有增量产生。