广泛应用并高速发展的MEMS技术

摘要

MEMS传感器种类繁多，发展迅猛，应用广泛。该文介绍了MEMS传感器的概念及特点，并对MEMS的具体应用进行了简要阐述。从部分新的MEMS技术在军事及航空航天方面简述了对未来应用的展望。MEMS技术正处于高速发展，潜在市场巨大。