二氧化钛在离线镀膜玻璃保护方面的应用

摘要

磁控溅射镀膜属于软镀膜,尤其是含有银材料的高性能Low-E镀膜产品,膜层软且不耐加工,在镀膜基片的储运、再加工过程中,如有操作不慎则容易导致膜层提前损坏,包括膜层划伤、氧化、耐加工能力变差等情况,最终导致经济损失.因此提供一种能提高产品耐加工性并降低对产品不利影响的工艺,分析了各种膜层保护材料的优缺点,着重介绍TiO2保护膜的耐氧化、耐刷洗、耐研磨等优异性能.综合各项性能参数得出:TiO2可作为镀膜玻璃良好的膜层保护材料.