日立化成开发出可蚀刻SiN的浆料,用于太阳能电池等领域

摘要

日立化成开发出了可蚀刻氮化硅（SiN）的浆料，并在第12届国际纳米技术综合展上展出。只要利用丝网印刷工艺使该浆料成形，便可只去除浆料下面的SiN。日立化成的目标是将这种浆料用于太阳能电池及MEMS制造工序等。