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机译:压电驱动的1-DOF兼容纳米定位平台的预载特性识别
Ruizhou WANG; Xianmin ZHANG;
School;
of;
Mechanical;
and;
Automotive;
Engineering,;
South;
ChinaUniversity;
Technology,;
Guangzhou;
510641,;
China;
定位平台; 特性鉴定; 纳米操纵; 兼容机制; 自由度; 预紧; 电容式传感器; 压电陶瓷致动器;
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