自动二维空间扫描红外光谱仪

摘要

在一些高科技领域,往往要对材料组分进行非破坏性的二维测量,例如,半导体材料在晶体生长过程中,由于分凝而造成晶体材料组分在轴向和径向的不均匀性。这方面的实例很多,在红外半导体探测器工业中得到广泛应用的半导体碲镉汞(Cd_xHgl_(-x)Te)