阳极氧化的Ta_2O_5薄膜内击穿过程中微孔的形成

摘要

通过重复阳极氧化实验,研究了钽的阳极氧化过程中的击穿损伤。本文介绍一种解释,假设由于击穿过程产生非短路微孔的形成。根据此模型计算损伤面积的大小和微孔的深度。