KLA-TENCOR推出用于测量等离子室效应的PLASMAVOLT X2

摘要

KLA-Tencor公司新近推出了PlasmaVolt^TM X2，可用于在半导体晶圆处理系统中测量等离子室的状况。由于增加了内嵌式传感器数量，且空间分辨率得到改善，Plasma Volt X2对各种参数的变化极为敏感，例如无线电频率（RF）功率、气流、磁场及等离子室设计。