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氢气的吸附式纯化技术和钯膜技术之间比较

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摘要

为了比较Aeronex Gatekeeper纯化器和钯膜技术对移除氢气中的污染物的效率.超纯的氢气需求成倍的增长是第二代硅晶,是化合物半导体制程中必须的,如硅晶体的外延,MOCVD制程和第Ⅲ-V代化合物.

著录项

来源
《电子工业专用设备》 |2008年第3期|32-37|共6页
作者
Dan Alvarez; Jeff Spiegelman; Silva Petani; 曹勇泽;
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作者单位

应特格微电子贸易有限公司,上海;

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正文语种 chi
中图分类 TN304.055;
关键词
氢气; 纯化; 钯膜技术; 污染物;

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