第八届（2013年度）中国半导体装备创新产品和技术介绍

摘要

八项半导体设备被评为2013年度的中国半导体设备创新产品 　　2014年1月21日中国电子专用设备工业协会、中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子报在北京共同举办了“第八届（2013年度）中国半导体创新产品和技术评选”活动。由16位行业内专家组成的评选委员会按照评选条件进行综合评价，8项半导体设备被评选为2013年度中国半导体设备创新产品。