蓝宝石镀MgF_(2)减反射膜在微米划擦过程中的失效与变形分析

摘要

为了研究蓝宝石镀MgF_(2)减反射膜在划擦时的失效过程,通过微米划痕试验研究了薄膜的失效形式及其在划擦过程中的弹−塑性变形。结果表明:MgF_(2)薄膜失效的临界载荷为1.36 N,失效形式为划痕边缘和内部都出现剥落;在到达临界载荷前,MgF_(2)薄膜持续发生塑性变形,蓝宝石基体的弹性变形则逐渐增大,展现出较强的薄膜塑性变形和基体弹性变形能力。提高薄膜的塑性变形量是提高抗划擦能力的有效途径。