TFT-LCD产品的腐蚀问题是影响产品品质的主要问题之一,该文研究的腐蚀与一种新型的叠层设计有强相关.这种腐蚀在新的叠层设计应用以前没有出现过,且在新产品上只出现在叠层位置.我们通过对腐蚀位置大量的聚焦离子束(focused ion beam,FIB)分析,建立了失效模型:该腐蚀与两层金属(M3、M2)之间距离d有强相关,d值较小时绝缘膜(PA 2)不能对M3金属形成有效的保护,在高温高湿环境下M3金属易被腐蚀.另外,该项目创新了一种通过泡酸验证产品抗腐蚀性能的方法,相比RA实验,大大缩短了验证时间,在该项目中也使用该方法对腐蚀模型的准确性进行验证.基于腐蚀的失效模型,我们对d值相关的工艺参数进行了优化调整,调整后该模式腐蚀未再出现,产品品质得到提升.
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