用X射线衍射测量术探测薄膜生长

摘要

目前采用光学方法监测气体沉积薄膜生长的技术发展迅速。美国先进技术材料公司和宾夕法尼亚大学的系统研究人员正致力于研制一种用于原位监测薄膜生长的X射线衍射测量系统。从一试样表面衍射的X射线图形能够给出有关材料结晶结构的信息,如属于哪一种材料,最佳的晶轴定向,以及该晶体具有几种不同的相。这些信息特别适用于现代材料的生长,如金刚石薄膜等。