微细中空电极流速测试及侧壁绝缘层制备工艺比较

摘要

cqvip:针对孔径100~200μm、采用中空供液工艺的高深宽比微细电解加工中,中空电极流速难以在线测量,侧壁绝缘层易出现损伤、脱落等问题,利用不同压力下流速雾化现象在光照下的差异性,建立压力-流速-雾化面积比关系曲线,实现在线流速测试并优化了初始供液压力。通过比较加工孔和加工后电极表面形貌,优选出丙烯酸环氧树脂绝缘层制备工艺,并在304不锈钢片上加工出入口直径180.6μm、出口直径173.8μm、锥度约0.78°的阵列孔,验证了方法应用的可行性。