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射频放电电参数的测量

         

摘要

通过自行研制的传感器,结合网络分析理论,采用数字与计算机技术实现对射频放电电压、电流、相位及功率的测量,除可广泛应用于射频放电的电压、电流、相位及功率测量外,还可对射频放电负载特性及等离子体的伏安特性进行研究与分析.

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