超薄玻璃基板化学沉积镀膜智能产线技术中的自适应控制研究

摘要

随着电子信息技术的快速发展,扁平化显示器、光伏电池等领域对超薄玻璃基板的需求不断增加。化学沉积镀膜技术由于其高效、环保等特点,成为了制备超薄玻璃基板的重要工艺之一。研究了超薄玻璃基板化学沉积镀膜智能产线技术中的自适应控制,结合传统的控制模型和现代的智能控制技术,提出了基于模型预测控制算法的自适应控制方法,该控制方法具有良好的鲁棒性和自适应性,可以有效地提高产线的稳定性和生产效率。