金刚石合成过程中放炮现象的分析及预警

摘要

在合成人造金刚石过程中,发生"放炮"现象前,外围的加热体会发生变形.通过分析加热体变形导致的电阻及电流变化,可以有效预警"放炮"现象.通过仿真模拟计算分析加热体变形引起的电流变化,并根据生产实际的统计学结果制定预警方案.将预警方案应用于生产中实现了预期效果,可有效避免此类事故,降低生产成本.