基于能量法的浮置基础减振系统解析模型

摘要

在设计浮置基础减振系统时,需要确定减振系统的力学参数、减振器个数及其布置形式等。虽然以有限元方法建立的实体模型比解析模型更准确,但在没有初始设计的情况下建立有限元模型所耗费的工作量过大,解析模型可以更快的获得较好的初始参数,为浮置基础减振系统的优化设计提供依据。文中基于能量法并结合Lagrange运动方程提出了由弹性构件支撑的浮置基础减振系统动力学解析模型,利用运动方程的特征分析方程推导了系统的实模态频率及复模态频率,并将所提出的模型和模态求解方法应用于量子芯片实验室的电子束曝光机浮置基础减振系统分析。对所提出的解析模型和SAP2000有限元模型进行了比较分析,结果显示文中提出的解析模型求解结果与有限元模型计算结果相对误差小于6%。解析模型的实模态计算浮置基础模态频率比复模态计算的结果更接近有限元模型的计算结果。