复合澄清剂在TFT基板玻璃熔制过程中的作用机理

摘要

针对当前薄膜晶体管(TFT)基板玻璃熔制过程中澄清剂作用机理认识不足的问题,采用模拟TFT基板玻璃浮法熔制工艺与高温熔融动态观察相结合的方式,研究了SnO_(2)、CaSO_(4)、NaCl等单一和复合澄清剂在熔制过程中的适用温度、澄清效果等,对基板玻璃热学性能、玻璃块体中Na^(+)含量与NaCl澄清剂使用量的关系进行探讨。结果表明:SnO_(2)单一澄清剂的适宜用量为0.10%(质量分数);复合澄清剂中0.10%(质量分数)SnO_(2)+0.35%(质量分数)CaSO_(4)形成的梯度澄清效果最佳;复合澄清剂SnO_(2)+NaCl构成协同澄清,澄清效果随NaCl用量的增加而提高,但NaCl澄清剂的使用量应不高于0.0763%(质量分数),以满足基板玻璃对残留碱金属离子含量的严格要求。以上研究成果对改善TFT基板玻璃熔制质量和产品品质具有重要的参考意义,有利于相关工业化生产降本增效。