钴硼合金功能膜的制备与结构分析

摘要

以ＮａＢＨ４为还原剂用化学沉积方法成功制备了钴硼合金功能膜。通过大量试验，优化出一种沉积速率较快的镀液配方与工艺。采用ＸＲＤ、ＴＥＭ等仪器对沉积膜的镀态结构和组织性能进行了测试，研究了合金的沉积速率与结构。试验获得的合金膜显微硬度较高，表面光亮致密，且与基体结合牢固；虽然ＸＲＤ的检测结果显示沉积膜为非晶态结构，ＴＥＭ的进一步分析表明，沉积膜是非晶态＋晶态的过渡态结构，从而对钴硼合金沉积膜作了较为全面的评价。