掺铜SnO_2薄膜的光学气敏特性

摘要

采用磁控溅射的方法,在玻璃基片上制作出SnO2-Cu-SnO2-Cu-SnO2的5层式多层复合薄膜。并且在常温下使用分光光度计检测出,当它接触到酒精和丙酮气氛的情况下,其反射率在可见光范围的某些波段有变化,气敏特性与纯SnO2薄膜的相似,同时具有更佳的反应效果。