基于交流量热法的薄膜热扩散率自动测试系统的研究

摘要

设计并组建了一套基于交流量热法的薄膜热扩散率的自动测试系统,实现了薄膜热扩散率的自动化测量。该系统以PC机为主控机,利用串口与运动控制卡通信,控制压电陶瓷超声电机实现采样点的精确定位,通过GPIB总线控制锁相放大器,采集位于待测薄膜表面上的微热电偶的温度响应信号。由温度信号的幅值与采样距离的关系得到薄膜的热扩散率。讨论了该系统的软硬件组成、测试原理及功能特性,并给出了系统软件的工作界面和测试数据。