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利用部分补偿透镜进行非球面面形测量

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摘要

提出用部分补偿透镜进行非球面检验的方法.对部分补偿透镜的设计方法和要求进行了研究,针对3种不同参数的非球面设计了部分补偿透镜,结构比零补偿器更简单.分析了各种部分补偿透镜的非球面度补偿范围,证明用简单且易于制造的部分补偿透镜补偿不同相对孔径和非球面度的非球面.测量精度可达到λ/10.

著录项

来源
《北京理工大学学报》 |2004年第7期|625-628|共4页
作者
刘惠兰; 郝群; 朱秋东; 沙定国;
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作者单位

北京理工大学信息科学技术学院光电工程系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TH744.3;
关键词
部分补偿透镜; 非球面测量; 法线像差; 干涉术;

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