微米尺度下机械元件疲劳损伤行为与寿命预测研究

摘要

1项目负责人及所在单位：尚德广,北京工业大学 2起止年限：2006年1月～2008年12月 3项目简介 MEMS产品在汽车、航空航天、医疗器械等诸多领域得到了广泛的应用。本项目以微机械结构中常用的薄膜型微机械元件为研究对象,在微米范围内研究加载方式及试件尺寸对微机械元件疲劳性能的影响。