陶瓷材料微波加工用高场强单模谐振腔的研究

摘要

设计性能优良的微波加热系统，是研究微波加工陶瓷的重要内容之一．介绍了所研究的用于陶瓷材料微波加工的ＴＥ１０３单模谐振腔系统的原理、结构特点，并对其特性进行了测试研究．结构设计中采用了可调短路活塞及滑动耦合膜片，获得的空腔品质因数高达４２００，加载后电压驻波比可调至１．０２．在加热区域可获得很高的电场强度，因而可实现陶瓷材料的快速加热．对ＺＴＡ、Ｓｉ３Ｎ４、Ａｌ２Ｏ３等先进陶瓷成功地进行了烧结、连接．该系统可方便地用于具有不同介质特性的小尺寸陶瓷件的烧结、连接等加工．