C_2H_2/N_2流量对反应等离子喷涂TiCN涂层影响的研究

摘要

以不同流量的C2H2与N2作为反应气体,通过反应等离子喷涂的方法制备TiCN涂层。并对涂层中物相、组织形貌和显微硬度进行比较与分析。实验结果表明,以C2H2气体流量为0.25m3/h喷涂时,所得涂层的组织致密,硬度较高;以C_2H_2:N_2流量比为1:1进行喷涂时,涂层中的氧化物含量较少,但组织致密性较差,硬度降低。