超薄薄膜反射镜面形光机集成分析

摘要

运用有限元法对不同工况下平面薄膜反射镜的变形进行了计算。用Gram-smith正交化方法处理了Zernike多项式,并编制了光机接口程序,计算Zernike系数,对反射镜波前进行拟合,对外载荷对超薄薄膜反射镜的影响进行了分析。