金刚石涂复刀具的特性与应用

摘要

日本旭金刚石工业公司采用EACVD法及直流等离子CVD法合成金刚石薄膜,制造了多种金刚石涂层刀具和模具。 1.在一般刀具上的应用图1为金刚石薄膜的气相合成法使用的EACVD(Electron Assisted Chemical Vapor Deposition)装置的概略图,这种方法是以热灯丝放出电子、加速使原料气体分解为特点的电子冲击CVD法。