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光激励硅微机械谐振器的振幅分析及计算(英文)

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分无镀膜 (或镀膜很薄 )和有较厚镀膜两种情况 ,对硅微谐振器的光激励振幅进行了分析计算 .针对有较厚镀膜的硅微谐振器 ,在理论分析的基础上 ,提出了一种新的光激振幅计算模型 ,理论计算与实验测试值吻合得很好 .

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来源
《光子学报》|2001年第1期|99-103|共5页
作者
刘月明; 刘君华; 张少君;
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作者单位

西安交通大学电气测量教研室;

西安理工大学,710048;

西安理工大学;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类谐振;
关键词
硅微谐振器; 光激励; 振幅; 镀膜;
入库时间 2022-08-21 01:27:00

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